根据制造工艺的要求来讲,目前对晶片的尺寸、几何精度、表面洁净度以及表面微晶结构提出了较高的要求,因此,在制造工艺的过程中减薄机对晶片减薄是相对不可缺少的一部分。那么,关于晶片减薄的---性及作用具体体现哪些方面呢?
1.提高芯片的散热性能要求
在集成电路中,由于硅基体材料及互联金属层存在电阻,在电流的作用下,芯片要产生的---现象。而在芯片工作的过程中,由于部分热量的产生,使得芯片背面产生内应力。芯片热量逐渐升高,基体层之间的热差---加剧,这无疑加大了芯片的内应力。较大的内应力使芯片生产,这是芯片损坏的主要原因之一。因此,只有通过减薄机对晶片背面进行减薄,才可以降低芯片热阻,有效提高芯片的散热性能,从而降低了芯片破损的风险,提高了集成电路的---性。2.集成电路制造工艺要求
通过对晶片减薄工艺后,国产半导体减薄机,使其有利芯片分离,在一定程度上提高了划片的以及成品率。在许多集成电路制造领域内,大家对集成电路芯片超薄化的要求是越来越高,要想得到高的超薄芯片,我们就必须通过晶片减薄工艺的方式从而获取。
通过以上两点可以得出,只有通过减薄机对晶片减薄,才能---的---芯片的厚度及尺寸等方面的要求,这也足够充分的体现了晶片减薄工艺的重要性。
特点
型号: 全自动vrg-300a
型号:hrg-150
1. 结构简单稳固
铸铁机身
结构设计---
减少晶片表面损伤及翘曲
2. 自动尺寸控制系统
3.自动修整系统
4. 全自动上下料系统
5. 自动清洗和干燥系统
6. 可编程操作系统
可存储20套加工程序,简单操作
易于操控
应用领域
硅片,碳化硅片,蓝宝石晶圆,金属,陶瓷,
碳,玻璃,塑料,复合材料
减薄前将硅片粒结合在行星齿轮片上的沾片方法是十分重要的。因为当沾片的方法不合理时,减薄后的硅片厚度公差将会随之增大,所以在沾片前我们要故的首步是将硅片按厚度分好档,然后把硅片用蜡均匀地沾在行星齿轮片正、反两面上,需要注意的是同一轮研磨的四块或五块行星齿轮片上的硅片厚度-定要均匀,如果硅片不按照厚度去分档,而任意沾片,想要提高减薄后的硅片厚度公差是相对比较困难的。
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